Vákuové riešenia v oblasti spracovania polovodičov

Účinnosť a kvalita v závode v oblasti spracovania polovodičov

Vysoká účinnosť a spoľahlivosť s overenými vákuovými technológiami od skúseného partnera, ktorý rozumie požiadavkám na kvalitu naprieč výrobou.

Vákuová riešenia v oblasti spracovania polovodičov

V spoločnosti Busch VACUUM ponúkame to najrozsiahlejší portfólio vývev a vákuových systémov pre všetky oblasti použitia v odvetví polovodičovej výroby.

Naši technici disponujú dlhoročnou praxou a sú pripravení poradiť vám vo všetkých oblastiach vákuových riešenia vo vašom závode, počnúc riešeniami pre použitie plniacich komôr, cez najnáročnejšie spôsoby použitia vákua a končiac navrhnutím centralizovaného vákuového systému. V našom obsiahlom produktovom portfóliu suchých vývev vždy nájdete to technicky najlepšie a najmenej nákladné riešenie práve pre vás.

Sústredíme sa na to, aby sme boli schopní zakaždým poskytnúť optimálne produktové riešenie, ktoré znižuje celkové náklady na vlastníctvo a zvyšuje spoľahlivosť použitie v oblastiach:

• plniacich a zakladacích komôr,
• predčistenia,
• fyzikálne depozície pár (PVD) alebo pokovovanie,
• iónovej implantácie,
• leptanie,
• chemického nanášania výparov (CVD, LPCVD, PECVD),
• EPI,
• nanášanie vrstiev hrúbky atómu (ALD).

RIEŠENIE V OBLASTI spracovanie polovodičov

Suché skrutkové vývevy COBRA

Naše suché skrutkové vývevy COBRA BA, BC a DS sú určené pre konkrétne spôsoby použitia u polovodičových riešení. Suchá skrutková výveva COBRA BA, ktorá je chladená vzduchom, predstavuje veľmi účinné a kompaktné riešenie pri jednoduchých a stredne náročných aplikáciách vákua. Výveva COBRA BC predstavuje veľmi účinné a kompaktné riešenie pri jednoduchých a stredne náročných aplikáciách vákua. Výveva COBRA BA predstavuje ideálne riešenie pre tých najnáročnejších spôsoby použitia vákua v závode.

Suché skrutkové vývevy COBRA BC - Premium Efficiency

Vývevy COBRA BC triedy "Premium Efficiency" sú špeciálne navrhnuté tak, aby zaviedli nový štandard v oblasti energetickej účinnosti. Táto výveva je vybavená najmodernejšou technológiou Busch VacBoost, čím je zaručené splnenie súčasných vysokých nárokov na energetickú úsporu a ekologickú udržateľnosť. Funkcia inteligentného pohotovostného režimu spolu s celou škálou ďalších flexibilných a voľnobežných režimov predstavujú ďalšiu možnosť energetické úspory.

Špirálové vývevy Fossa

Špirálové vývevy Fossa sú ideálne prispôsobené pre generáciu stredného vákua v plniacich a zakladajúcich komorách, héliových detektoroch netesností, hmotnostné spektrometre, elektrónových mikroskopoch a ďalších analytických prístrojoch. Tiež sa používajú v procesoch plynového hospodárstva, ktoré vyžaduje maximálnu úroveň čistoty v procese ťažby plynu.

BUSCH VACUUM SERVICE - lídrom v poskytovaní prémiových SLUŽIEB

Vďaka 12 veľkým polovodičovým servisným strediskám po celom svete a mnohých servisným tímom v teréne ponúkame našim zákazníkom bezproblémovú, rýchlu a spoľahlivú podporu. A to či už sa jedná o odstraňovaní porúch, údržbu, repasáciu alebo výmenu vývev priamo v týchto strediskách alebo v areáli závodu daného zákazníka. Naša ponuka zahŕňa repasáciu vákuových produktov od iných výrobcov, vrátane suchých vývev, rotačných lamelových vývev, turbomolekulárne vývev a kryogénnych čerpadiel.