Panel používateľa

Vákuové riešenia v oblasti spracovania polovodičov

Naše vákuová riešenia v závodoch v oblasti spracovania polovodičov sú spoľahlivé, účinné a kvalitné, nech sa jedná o plniacej komory, meranie, chemické nanášanie výparov alebo ďalšie aplikácie.

Účinnosť a kvalita v závode v oblasti spracovania polovodičov

Vysoká účinnosť a spoľahlivosť s overenými vákuovými technológiami od skúseného partnera, ktorý rozumie požiadavkám na kvalitu naprieč výrobou.

Vákuová riešenia v oblasti spracovania polovodičov

V spoločnosti Busch VACUUM ponúkame to najrozsiahlejší portfólio vývev a vákuových systémov pre všetky oblasti použitia v odvetví polovodičovej výroby.

Naši technici disponujú dlhoročnou praxou a sú pripravení poradiť vám vo všetkých oblastiach vákuových riešenia vo vašom závode, počnúc riešeniami pre použitie plniacich komôr, cez najnáročnejšie spôsoby použitia vákua a končiac navrhnutím centralizovaného vákuového systému. V našom obsiahlom produktovom portfóliu suchých vývev vždy nájdete to technicky najlepšie a najmenej nákladné riešenie práve pre vás.

Sústredíme sa na to, aby sme boli schopní zakaždým poskytnúť optimálne produktové riešenie, ktoré znižuje celkové náklady na vlastníctvo a zvyšuje spoľahlivosť použitie v oblastiach:

  • plniacich a zakladacích komôr,
  • predčistenia,
  • fyzikálne depozície pár (PVD) alebo pokovovanie,
  • iónovej implantácie,
  • leptanie,
  • chemického nanášania výparov (CVD, LPCVD, PECVD),
  • EPI,
  • nanášanie vrstiev hrúbky atómu (ALD).

RIEŠENIE V OBLASTI spracovanie polovodičov

Suché skrutkové vývevy COBRA

Naše suché skrutkové vývevy COBRA BA, BC a DS sú určené pre konkrétne spôsoby použitia u polovodičových riešení. Suchá skrutková výveva COBRA BA, ktorá je chladená vzduchom, predstavuje veľmi účinné a kompaktné riešenie pri jednoduchých a stredne náročných aplikáciách vákua. Výveva COBRA BC predstavuje veľmi účinné a kompaktné riešenie pri jednoduchých a stredne náročných aplikáciách vákua. Výveva COBRA BA predstavuje ideálne riešenie pre tých najnáročnejších spôsoby použitia vákua v závode.

Suché skrutkové vývevy COBRA BC - Premium Efficiency

Vývevy COBRA BC triedy "Premium Efficiency" sú špeciálne navrhnuté tak, aby zaviedli nový štandard v oblasti energetickej účinnosti. Táto výveva je vybavená najmodernejšou technológiou Busch VacBoost, čím je zaručené splnenie súčasných vysokých nárokov na energetickú úsporu a ekologickú udržateľnosť. Funkcia inteligentného pohotovostného režimu spolu s celou škálou ďalších flexibilných a voľnobežných režimov predstavujú ďalšiu možnosť energetické úspory.

Špirálové vývevy Fossa

Špirálové vývevy Fossa sú ideálne prispôsobené pre generáciu stredného vákua v plniacich a zakladajúcich komorách, héliových detektoroch netesností, hmotnostné spektrometre, elektrónových mikroskopoch a ďalších analytických prístrojoch. Tiež sa používajú v procesoch plynového hospodárstva, ktoré vyžaduje maximálnu úroveň čistoty v procese ťažby plynu.

BUSCH VACUUM SERVICE - lídrom v poskytovaní prémiových SLUŽIEB

Vďaka 12 veľkým polovodičovým servisným strediskám po celom svete a mnohých servisným tímom v teréne ponúkame našim zákazníkom bezproblémovú, rýchlu a spoľahlivú podporu. A to či už sa jedná o odstraňovaní porúch, údržbu, repasáciu alebo výmenu vývev priamo v týchto strediskách alebo v areáli závodu daného zákazníka. Naša ponuka zahŕňa repasáciu vákuových produktov od iných výrobcov, vrátane suchých vývev, rotačných lamelových vývev, turbomolekulárne vývev a kryogénnych čerpadiel.

Oprava kompresorov, SERVIS pre KOMPRESORY OD VÝROBCOV: BOGE, ATLAS COPCO, KAESER, SCHNEIDER, ATMOS, AERZEN, RENNER, HAFI, ALUP, ALMIG, ORLÍK, BECKER, BUSCH, ELMO RIETSCHLE, : údržba, stredné opravy, generálne opravy, revízie a dodávky náhradných dielov ND a spotrebného materiálu (oleje, spotrebný materiál ako olejové filtre, vzduchové filtre, filtračné platne, olejové separátory, remene, tesnenia, mazivá, hadice, poistné ventily, tlakové spínače, termostaty, vložky termostatov, sady náhradných dielov pre sacie klapky, membrána, sady ND pre spätné klapky, riadiace jednotky, chladiče, motory, skrutkové bloky, kompresorové stupne, piesty, piestne krúžky, válce, ojnice, membrány a iné) pre kompresory a dúchadlá.

Prihlásenie

Táto stránka používa cookies. Viac info