Vysoké vákuum sa vytvára turbomolekulárními, difúznymi, sorbčními alebo iónovými vývevami
Vysoké vákuum poskytuje ešte dlhší voľné dráhy, a používa sa preto hlavne v elektronike: vákuové elektrónky a obrazovky, výroba polovodičov a podobne. Vytvára sa turbomolekulárními, difúznymi, sorbčními alebo iónovými vývevami. Vyžaduje už používanie vákuovo kompatibilných materiálov a tesnenia.