Premium Efficiency od firmy Busch
V reakcii na dnešný dopyt po maximálnej energetickej účinnosti predstavila spoločnosť Busch novú triedu prémiové účinných vývev a riešení vákuových systémov. Trieda s prémiovou účinnosťou od firmy Busch spája predné technológie s prevádzkovými funkciami, ktoré stanovujú nové štandardy efektivity.
Prémiová účinnosť predstavuje komplexný a integrovaný prístup k spotrebe energie, efektivite, spoľahlivosti, servisu a udržateľnosti.
Medzi funkcie triedy s prémiovou účinnosťou patria:
Úspory elektrickej energie až 40%
Najlepšia energetická účinnosť vo svojej triede založená na integrovaných technologických platformách
Vysoká spoľahlivosť a jednoduchšia údržba - podporovaná službou Busch
Nižšie celkové náklady na životný cyklus
Udržateľnosť životného prostredia prostredníctvom zníženej energetickej stopy
Celková účinnosť - to je náš komplexný prístup
Keď si zákazník vyberie jednu z našich vývev triedy s prémiovou účinnosťou, má prospech nielen z najlepšej energetickej účinnosti a spoľahlivosti vo svojej triede. Profituje tiež z našich bohatých skúseností s vákuovými systémami, a zo strany servisu Busch z komplexného poradenstva a servisu na mieste alebo mimo.
Série s prémiovou účinnosťou - COBRA BC Premium
Vývevy a systémové riešenia COBRA BC v priemysle polovodičov sú prvými vývevami a systémovým riešením triedy s prémiovou účinnosťou. Postupne sa trieda s prémiovou účinnosťou rozšíri na ďalšie skupiny produktov.
Dosiahnutie nových úrovní efektivity výroby polovodičov - COBRA BC s prémiovou účinnosťou
- Ideálne pre komorové zámky pri spracovaní polovodičov (pre zabránenie kontaminácie)
- Fyzikálne pokovovanie par (PVD) - "rozprašovanie" alebo "nanášanie naprašovaním"
- Metrológia - kontrola a zabezpečenie kvality procesu výroby polovodičov
- Ľahké leptanie (polovodičové leptanie)
